КИРИЛЮК ВАЛЕНТИН КОНСТАНТИНОВИЧ

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ ,СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК „„SU„„1048305 д 3q5q> G 01 В 7/28 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ - К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3447075/18-28 (22) 01.06,82 (46) 15.10.83. Бюл. N 38, (72) А.Il.Îêñàíè÷, А.Л.Анистратенко,; В,К.Кирилюк и С.А.Спектор (71) Ордена Трудового Красного Знамени завод чистых металлов им....

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, содержащее манипулятор , включающий установленные оппозитно и соосно измерительную головку с датчиком перемещений и толкатель , предметный стол, рычаг операционных перемеще:1Ий, кинематически связанный с измерительной головкой, электронный блок, первый вход которого подключен к датчику перемещений, отлич...