СПЕКТОР СТАЛЬ ЛЕОНИДОВИЧ

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ ,СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК „„SU„„1048305 д 3q5q> G 01 В 7/28 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ - К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3447075/18-28 (22) 01.06,82 (46) 15.10.83. Бюл. N 38, (72) А.Il.Îêñàíè÷, А.Л.Анистратенко,; В,К.Кирилюк и С.А.Спектор (71) Ордена Трудового Красного Знамени завод чистых металлов им....

  Изобретение относится к области станкостроения и может быть исполь - зовано при обработке полупроводниковых пластин. Целью изобретения является повышение эффективности и качества обработки путем задания сложного неориентированного движения ферромагIt (Л 19 Х i Ц Л f TJ СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК „„SU„„13) 5257 (дН 4 В 24.В 31/112 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР...