КОЛПАКОВ А.Я.

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССР (21) 3375633/21. (22) 05.01.82 (46) 30.09.92. Бюл. N 36 (72) Г. К. Дмитриев, А. И. Маслов, В. И. Головин,. В. П. Гончаренко, А. Я. Колпаков и М,И.Пикуль (53) 621.793.14(088.8) (56) Приборы и техника эксперимента, 1979,...

  COIO3 СОВЕТСКИХ СОЦИАЛ ИСТИЧ ЕСКИХ РЕСПУБЛИК (s((s С 23 С 14/40 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Н А ВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВ Е Н НОЕ ПАТЕ HTH 0E ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) (21) 324424.1/21 (22) 06.02.о1 (4б) 15.06.93. Бюл; Ь "2. (72) Г.К..ДмитрИев, А.И.Иаслов, Э.Ф.Бенуа, В.П.Гончаренко и A.Ë.Êîë" лаков (56) Авторское свидетельство СССР М 41.1037, кл. С 01 В 31/Об, 197...

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПО,КРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, со.л,ерж,зщее рас ,.. - V Изобретение .относится к нанесению покрытий 8 вакууме и может найти применение в микроэлектронике, машиностроении, оптике. Известно устройство для нанесения по:крытий путем конденсации ионизированных частиц, из.влечеичых из плазмы с помощью градиента магнитного поля. Недостатком извЭстного устройства--явля .е...