Сухоруких А.В.

 Использование: для изготовления оптических покрытий в микроэлектронике и квантовой электронике. Сущность изобретения: при изготовлении каждого слоя покрытия подложку нагревают до температуры, не превышающей температуру разрушения и изменения структуры материалов подложки и предыдущих слоев покрытия, и охлаждают подложку со скоростью 0,3 - 2oC/с, преимущественно до температуры 50 - l00oC,...

 Сканирующая оптическая система содержит последовательно расположенные по ходу светового пучка положительную линзу и прямоугольную призму, установленную с возможностью вращения относительно оси, параллельной ее преломляющим граням. Дополнительно введены вторая прямоугольная призма, установленная с возможностью вращения относительно оси, параллельной ее преломляющим граням, и кадровое окно,...