ПАПЧЕНКО ВАЛЕРИЙ ПАВЛОВИЧ

  СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ШАБЛОНА, включающий последовательное нанесение на подложку первого токопроврдя- . щего и защитного слоев, формирование в них окон методом литографии, нанесение поглощающего-либо пропускающего и второго токопроводящего слоев и удаление защитного слоя, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности , нанесение поглощающего либо пропускающего сл...