ФУРСОВ ВИКТОР ЯКОВЛЕВИЧ

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ СЖЖВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, включающее реакционную камеру, размещенные в наклонный подложкодержатель,средство подачи газа, имеющее отверстия , расположенные в плоскости, наклоненной к плоскости подложкодержателя , и средство отвода отработанных газов, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и равномерности получаемых слоев , средство подачи...