Крафт Э.В.

 (19)SU(11)1066230(13)A1(51)  МПК 6    C23C14/36(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 27.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ Изобретение относится к области получения тонких пленок, а именно к установкам для вакуумной обработки изделий, в частности для многослойного катодного ра...

  Изобретение относится к технике производства пленочных покрытий. Цель изобретения - повышение качества получаемых покрытий. Установка содержит рабочую и шлюзовую 1 и 3 камеры, разделенные вакуумным затвором 2. В шлюзовой камере 3 установлен винт 15, соосный с винтом 16 перемещения тележки 5 с подложкодержателями в рабочей камере 1. Тележка 5 с подложкодержателями посредством роликов 13 и...