Игонин М.Е.

 (19)SU(11)1066230(13)A1(51)  МПК 6    C23C14/36(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 27.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ Изобретение относится к области получения тонких пленок, а именно к установкам для вакуумной обработки изделий, в частности для многослойного катодного ра...