ГОРОХОВ ВАЛЕРИЙ НИКОЛАЕВИЧ

  1ПОЛУПГОВОДНИКОВЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий установленный в корпусе полупроводниковый чувствительный элемент в виде мембраны, на одной стороне которой размещена тензочувствительная схема в виде моста тензорезисторов с контактными площадками и слой защитного диэлектрика, нанесен-. ный на тензочувствительную схему, от л ичающийся тем, что, с целью повышения точности измерения за...