ЕГОРОВА ЛАРИСА АЛЕКСАНДРОВНА

  ПОЗИТИВНЫЙ ФОТОРЕЗИСТ, включающий светочувствительный компонент, пленкообразующий компонент - резольную анилино-фенолформальдегидную смолу и растворитель - метилцеллозольвацетат ,о тличающийся тем, что,с целью повышения разрешающей способности,снижение микронеровности и уменьшения Дефектности получаемых. фоторезистивных пленок,он в качестве светочувствительного компонента содержи...