Станкевич Е.В.

 (19)SU(11)1069451(13)A3(51)  МПК 5    C23C14/46(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк патентуСтатус: по данным на 27.12.2012 - прекратил действиеПошлина: учтена за 5 год с 02.07.1995 по 01.07.1996(54) СПОСОБ ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ Изобретение относится к области плазменной техники и вакуумной технологии нанесения покрытий и может быть использовано в мик...