Заико А.Ф.

 Способ создания металлизации СВЧ-транзисторов, включающий последовательное нанесение на полупроводниковую подложку с активными областями слоев алюминия, молибдена и алюминия, формирование разводки и нанесение слоя двуокиси кремния, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных транзисторов за счет увеличения стойкости к электромиграции, перед формированием разводки дополнительно...

 Способ создания металлизации интегральных микросхем, включающий нанесение на полупроводниковую пластину с активными и пассивными областями металлических слоев, преимущественно алюминия, формирование разводки, термообработку, осаждение диэлектрического слоя и его травление в области контактных площадок, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности микросхем, термообработку осуществл...

 Двухкристальный монохроматор синхротронного рентгеновского излучения, содержащий основание с опорной базовой плитой, платформу, снабженную осью наклона и двумя взаимно перпендикулярными направляющими линейного перемещения с установленными на них входными и выходными кристаллодержателями для кристаллов-монохроматоров, отличающийся тем, что, с целью ускорения юстировки и повышения радиацион...