Гусейханов М.К.

 (19)RU(11)1071100(13)C(51)  МПК 6    G01N27/22, H01L29/41Статус: по данным на 27.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) ДАТЧИК ВЛАЖНОСТИ Изобретение относится к физике полупроводников и полупроводниковых приборов, а точнее к физике поверхности полупроводников. Изобретение наиболее эффективно может быть использовано для определения влажности воздуха, для на...