НОЖЕНКОВ МИХАИЛ ВЛАДИМИРОВИЧ

  1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АНТИФРИКЦИОННЫХ ПОКШТИЙ, включающий распыление кшшени, выполненной из халькогенида переходного металла, преимущественно молибдена или вольфрама, о т л и ч a ю te и и с я тем, что, с целью увеличения долггвечноСти покрытия и упрсяцения технологического процесса, в процессе расшлления мишени на подложку подают отрицатель шли потенциал смещения при котором осущес...