КОСЫГИН ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНБ1 ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ, содержащее интерферометр, включающий два параллельно установленных источника монохроматического и немонохроматического излучения, и последовательно расположенный по ходу излучения от источников светоделитель, вьшолненный в виде плоского зеркала, расположенного под углом 45° к оптической оси устройства, первый зеркаль...