ОКСЕНТЬЕВИЧ АЛЕКСАНДР АЛЕКСАНДРОВИЧ

  РЕГУЛЯТОР РАСХОДА, соде жащий корпус с входным и выходным патрубками и установленным внутри между ними эластичным трубчатым затвором, образующим со стенками корпуса управляющую камеру, о т л чающийся тем, что, с целью я области применения и надежности регулятора астичного трубчатог-Г затвовлен цилиндрический стерэтом . : gst SiQ.Dj . радиальный зазор между эластичным трубчатым за...

  Изобретение может быть использовано в электронной промышленности и обеспечивает повышение качества термообработки за счет предотвращения осаждения продуктов реакции в загрузочном конце. Устройство содержит обогреваемый реактор с патрубком ввода парогазовой смеси. Загрузочный конец реактора размещен вне нагревателя и снабжен крышкой с теплоизоляцией. Между крышкой и нагревателем ус...

  Изобретение относится к способам термообработки полупроводниковых пластин, а именно к окислению, сухому и пирогенному осаждению слоев, и позволяет уменьшить концентрацию образуемых при обработке на поверхности пластин дефектов за счет исключения осаждения продуктов реакции на стенках реактора. В реактор загружают пластины и герметизируют крышкой. Со стороны загрузки подают закруче...