ДАНИЛОВИЧ ВЛАДИМИР СЕРГЕЕВИЧ

  Применение сйлатранов в качестве электррнорезиста при сухой электронолитографии . СОЮЗ G08ETCHHX ОСЦМЛВЪН РЕСПУБЛИК O% цд) G 03 F 7/26 (21) 3480748/18-21 (22) 05.08.82 ,(46) 02.03.84. Бал. В 9 (72) P.Ã. Мирсков, С. В. Васенко, В.И. Рахлин, В.П. Корчков, Т.Н. Мартынова, В.С. Данилович и М.Р. Воронков (71) Иркутский институт органической химии СО АН СССР -(53) 621 396.64-18...