Ларин П.В.

 Изобретение относится к измерительной технике. Техническим результатом является повышение надежности акселерометра. Акселерометр содержит первую пластину из монокристаллического материала, в которой образованы неподвижный элемент, подвижный элемент с электропроводными поверхностями, дифференциальный емкостный преобразователь с неподвижными электродами на второй и третьей пластинах, двухфа...