Челноков В.Е.

 1. Способ изготовления тиристоров, включающий диффузию акцепторных примесей в шлифованную поверхность кремния, высокотемпературное окисление, фотолитографию, диффузию фосфора, повторное высокотемпературное окисление и обработку структуры для получения заданного времени жизни неосновных носителей заряда в n-базе, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных приборов и упрощения т...