ДУШЕНКОВ СЕРГЕЙ ДМИТРИЕВИЧ

  1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ФИЛЬТРОВ, включающий нанеСение пленки фильтра на полимернзпо подложку и последующее стравливание этой подложки, отличающийс я тем, что, с целью упрощения технологии и повышения качества фильтров, стравливание осуществляют путем облучения подложки вакуумным ультрафиолетов|ым излучением со стороны , свободной от пленки фильтра. 2. Способ по п....

  1. СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ РЕЛЬЕФНЫХ ИЗОБРАЖЕНИЙ, включающий ir ff/ff f VM. селективное экспонирование полимерных реэистных пленок рентгеновскими (или электронными лучами с дальнейшим их проявлением, отличающийся тем, что, с целью повышения качества получаемого рельефного изображения, проявление ос ьществляют путем облучения вакуумным ультрафиолетовым излучением. 2. Способ по п. 1, о...