МИТРОФАНОВ АЛЕКСАНДР ВИКТОРОВИЧ

  1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ФИЛЬТРОВ, включающий нанеСение пленки фильтра на полимернзпо подложку и последующее стравливание этой подложки, отличающийс я тем, что, с целью упрощения технологии и повышения качества фильтров, стравливание осуществляют путем облучения подложки вакуумным ультрафиолетов|ым излучением со стороны , свободной от пленки фильтра. 2. Способ по п....