ЛАНТУХОВ Г.И.

  1. Способ лазерной подгонки пленочных элементов интегральных схем, включающий непрерывное или дискретное удаление материала пленочного элемента в виде непрерывного реза до дocтIiжeния заданного значения номинала, отличающ и и с я тем, что, с целью повыкения точности подгонки, при приближении подгоняемого параметра пленочного элемента к номиналу плавно y ieньшaют ширину реза до ве...