АРТО ПАККАЛА

  1. Способ получения составной пленки из разных элементов в вакуумированной реакционной камере на поверхности подложки путем поочередного контакта с ней паров веществ, содержащих эти элементы при их парцигшьном давлении, обеспечивакядем образование одного атомного слоя за один цикл, отличающий с я тем, что, с целью повышения чистоты и улучшения контроля процесса , после осаждения...