КУСТОВ ИВАН ФЕДОРОВИЧ

  ШИХТА НА ОСНОВЕ ТИТАНА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ АБРАЗИВНОГО МАТЕРИАЛА, содержащая углерод и кремний, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности шлифования и качества поверхности шлифуемых полупроводников, она содержит .компоненты при следующем соотношении , мас.%: Углерод 19,0-19,9 Кремний 0,5-5,0 Титан Остальное (Л СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОН А РЕСПУБЛИК (1% (И) 26 А ОПИСАНИЕ...

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ ИЗ ГАЗОВОЙ -ФАЗЫ, включающее водоохлаждаемую камеру, полый подложкодержатель, расположенный в камере , индуктор, установленный в закрытом колпаке внутри подложкодержателя, теплоизоляционный экран, размещенный у внутренней стенки камеры, и средства ввода и вывода газа, отличающееся тем, что, с целью повыщекия качества осажденных слоев путем обеспечен...

  КАССЕТА ДЛЯ ЖЦЦКОФАЗНОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК, содержащая корпус с осевым отйерстием, основание с пазами для размещения подложек и фиксатор для их крепления , отличающаяся тем, что, с целью повышения эффективности обработки и защиты поверхности подложек от загрязнений в межоперационный период, основание кассеты выполнено в виде параллельно расположенных распределяющих тр...