ХОББИХОЖИН Ш.А.
Изобретатель ХОББИХОЖИН Ш.А. является автором следующих патентов:
Способ плазмохимической обработки полупроводниковых пластин
СПОСОБ Ш1АЗМОХИМИЧБСКОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, включающий откачку реакционного объема , загрузку рабочих пластин через шлюзовое устройство, напуск реакционных газов, возбуждение ВЧ-разряда, обработку поверхности пластин газоразрядной плазмой, отличающийся тем, что,,с целью повышения производительности обработки и повьшения надежности работы оборудования , после Напу...
1088589