РОМАНОВСКИЙ АЛЕКСАНДР ИОСИФОВИЧ

  1. Способ очистки полупроводниковых пластин путем их промывки в жидкости с пропусканием через жидкость газа, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности очистки,пропускание через жидкость осуществляют непосредственно вдоль очищаемой поверхности полупроводниковых пластин, причем расход газа периодически изменяют по гармоническому закону. (Л СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТ...