САЛЬНИК ОЛЕГ СТЕПАНОВИЧ

  СПОСОБ ДВУСТОРОННЕГО ПОЛИРОВАНИЯ ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ , при котором детали перед обработкой свободно устанавливают в сепараторе , сообщают ему сложное плоскопараллельное движение между двумя соосно врашаюш .имися инструментами, а в зону обработки подают полируюш,ую жидкость, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки монокристаллических подложек, перед обработкой...