Орликов Н.Л.

 Изобретение относится к устройствам электронно-ионной технологии, в частности к газоразрядным устройствам для ионной очистки и травления материалов, и может найти применение при изготовлении элементной базы микроэлектроники из многокомпонентных материалов. Технологический результат - повышение производительности обработки. Устройство для ионной обработки материалов содержит генератор плаз...

 Изобретение относится к электронно-лучевой и плазменной технике и может использоваться в технологиях обработки материалов выведенными из вакуума в газ сфокусированными электронными пучками. Технический результат изобретения - расширение технологических возможностей устройства. В устройстве для генерации и вывода частиц, содержащем источник частиц в виде катода и полого анода, пролетную ка...

 Изобретение относится к электронно-лучевой технике, а именно к устройствам для вывода интенсивных пучков частиц из вакуума в газовую сферу высокого давления. Технический результат - увеличение мощности пучка частиц, выводимых их вакуума в газовую среду повышенного давления. В устройстве для вывода частиц, содержащем источник частиц, пролетную камеру, дальний и ближний к источнику патрубки...

 Изобретение относится к электронно-лучевой технике, а именно к устройствам для вывода интенсивных пучков частиц из вакуума в газовую среду высокого давления, и может использоваться для обработки материалов при атмосферном давлении потоками заряженных или нейтральных частиц. Технический результат - увеличение мощности пучка частиц, выводимых из вакуума в газовую среду повышенного давления....

 Для анализа используют два одинаковых образца, которые берут из одного отрезка материала, и в одной камере производят нагрев первого образца и затем нагрев другого образца. При этом образцы нагревают с различными скоростями до температуры, меньшей температуры плавления, и измеряют поток газовыделения для каждого образца. Сравнивают указанные потоки для одного и того же времени нагрева и п...