ПАРК Мун-хан (KR)

 Изобретение относится к полупроводниковой технике. Предложен способ изоляции канавками с использованием двух типов оксидных пленок. Канавки в полупроводниковой подложке заполняют многослойной пленкой из двух оксидных пленок, нанесенных последовательно и имеющих различные характеристики напряжения. Производят уплотнение композитной оксидной пленки, заполняющей канавки. Затем выравнивают ко...