ЛЕНИВКИНА ИРИНА ВИКТОРОВНА

  1. УСТАНОВКА ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ, содержащая ванну для электролита, подложкодержатель и нагревательное устройство, отличающаяся тем, что, с целью у)величения скорости осаждения слоев и повьшения качества, она снабжена двумя плоскими электродами, соединенными с источником постоянного напряжения, причем один из них расположен под дном ванны параллельно плоскости подл...

  Изобретение относится к области приборостроения и микроэлектроники и может быть использовано для нанесения покрытий путем химического осаждения из раствора . С целью получения селективного покрытия в процессе его осаждения на подложку в осадительную ванну 1 с электролитом 2 помещают электрод 5, имеющий форму, соответствующую рисунку покрытия, параллельно подложкодержателю 3. Элек...