ИОЛИН ЕВГЕНИЙ МИХАЙЛОВИЧ

  СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОРИЕНТАЦИИ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛАСТИН, включающий облучение пластины пучком излучения , установку ее в отражающее положение под углом Брэгга, последующее вращение пластины в азимутальной плоскости и определение угла отклонения В нормали отражающих плоскостей от оси вращения, отличающийся тем, что, с целью повьшения точности определения ориентации, на пластину...

  Изобретение относится к области неразрушающих испытаний материалов и может быть использовано для контроля малых деформаций монокристаллических пластин полупроводниковых материалов. Цель изобретения - расширение области применения способа для измерения малых деформаций. Это достигается возбуждением в пластине поперечной ультразвуковой акустической волны на частоте, превышающей поро...