КАСАТКИН ЮРИЙ СЕРАФИМОВИЧ

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ПАРОГАЗОВОЙ ФАЗЫ, содержащее реакционную камеру с нагревателем , смесительную камеру и излучатель колебаний, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий и надежности конструкции, оноснабжено промежуточной камерой, установленной между смесительной и реакционной камерами, при этом излучатель колебаний установлен на промежуточной к...

  Изобретение относится к способам нанесения металлических покрытий ,в частности, вольфрамовых, химическим осаждением из газовой фазы. Цель изобретения - снижение непроизводительных потерь компонентов. Согласно изобретению, способ включает смешивание потоков газообразного водорода и паров гексафторида вольфрама и подачу парогазовой смеси (ПГС) компонентов к нагретой поверхности осаж...