БУЗУЕВ МИХАИЛ ВАСИЛЬЕВИЧ

  СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НЕГАТИВНОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ НА ПОЗИТИВНОМ ФОТОРЕЗИСТЕ, включающем - диазохиноновый светочувствительный компонент и пленкообразующий компонент, путем нанесения позитивного резиста на подложку, экспонирования через шаблон, термообработки при 120-130°С и проявления , отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности получаемого изображения и увели...