PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Латута В.З.

Изобретатель Латута В.З. является автором следующих патентов:

Способ термической обработки кремниевых подложек

Способ термической обработки кремниевых подложек

 Способ термической обработки кремниевых подложек, включающий их нагрев в среде водорода в течение 1 - 4 ч, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества подложек за счет уменьшения плотности дефектов у рабочей поверхности подложек, на рабочую поверхность каждой подложки устанавливают пластину кварца или сапфира толщиной, в 2 - 4 раза большей толщины кремниевой подложки, и нагревают не...

1114258