АРХАРОВ МИХАИЛ АЛЕКСЕЕВИЧ

  ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКАЯ ПРОЕКЦИОННАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОСХЕМ, содержащая последовательно расположенные вдоль оптической оси электронную пушку, первую систему конденсорных линз, первую отклоняющую систему, вторую систему конденсорных линз, маску, подвижную заслонку, первую проекционную систему, вторую отклоняющую систему и вторую проекционную систему, отличающаяся тем, чт...