ПАССМОР Иан Кейт (CA)

 Изобретение относится к химическому паровому осаждению, в частности к устройству для осаждения газообразных карбонилов металлов на подложку, и может найти применение в различных отраслях машиностроения и металлургии. Опорная плита (12) и крышка (14) устройства (10) образуют реакционную камеру (20). Кольцо (28) оправки (36) размещено в опорной плите (12), изолировано от нее и поддерживает...