ГРИДНЕВ В.И.

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИМПЛАНТАЦИИ ВЕЩЕСТВА В МАТЕРИАЛЫ, содержащее источник пучка ускоренных электронов и облучаемую мишень из имплантируемого вещества, наложенную на обрабатываемой материал, отличающееся тем, что, с цепью повышения производительности имплантации, мишень выполнена из монокристаллической фольги и ориентирована относительно направления пучка электронов так, что выполняетс...

  СПОСОБ ДЕТЕКТИРОВАНИЯ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ путем регистрации обратно рассеянного.излучения, заключающийся в том, что коллимированный пучок частиц направляют на рассеиватель и после обратного рассеяния регистрируют частицы счетчиком, о тличающийся тем, что, с целью увеличения эффективности регистрации компонента тяжелых частиц в присутствии фона быстрьк электро-, нов, в качестве расс...

  1. МИКРОТРОН, содержащий магнит с регулирующей напряженностью магнитного поля, между полюсами которого размещена вакуумная камера, в которой расположены неподвижно закрепленный магнитный шунт для вывода ускоренных частиц и ускоряющий резонатор , в котором расположен катодшлй узел с катодом, при этом резонатор снабжен средствами для его перемещения вдоль линии, совпадающей с общим...