Тетерьвов Р.И.

 (19)RU(11)1123474(13)C(51)  МПК 5    H01L21/304Статус: по данным на 10.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФАСКИ НА КРУГЛЫХ ПЛАСТИНАХ Изобретение относится к механической обработке твердых хрупких тел и может быть использовано для формирования фаски на круглых полупроводниковых пластинах и кристаллах. Известно устройство для...