Самойленко Л.А.

 (19)RU(11)1123474(13)C(51)  МПК 5    H01L21/304Статус: по данным на 10.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФАСКИ НА КРУГЛЫХ ПЛАСТИНАХ Изобретение относится к механической обработке твердых хрупких тел и может быть использовано для формирования фаски на круглых полупроводниковых пластинах и кристаллах. Известно устройство для...

 Изобретение может быть использовано, в частности, в электронике для жидкостной химической обработки полупроводниковых пластин (ППП). Цель - повышение качества обработки ППП достигается тем, что в линии поворотные носители выполнены в виде ротора с горизонтально расположенным центральным валом 9 с цапфами 10, лысками для фиксации от поворота и парой торцовых зубчатых дисков (ТЗД) с венцом...