БЕЛЯКОВСКИЙ ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ

  1. ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ОТРЕЗАЮЩИЙ ФИЛЬТР, содержащий прозрачную подложку с последовательно располо-женными на ней первой и второй многослойными системами, состоящими из чередующихся четвертьволновых по оптической толщине слоев материалов с высоким и низким показателями преломления и выполненными с центром на длине волны / и -соответственно, при этом riepDbrfi и последний слои перво...

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК в процессе их нанесения , содержащее источник излучения, модулятор, систему зеркал, одно из которых имеет полупрозрачное покрмтие , и карусель с подложкодержателями , отличаю ще еся тем, что, с целью повышения точности контроля , ойо снабжено обтюратором с зеркальньм покрытием, размещенным ьбжду каруселью и зеркалом с полупрозрачным покрытие...

  СПОСОБ ОЧИСТКИ МАТЕРИАЛА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, включающий расплавление поверхности материала расфокусированным электронным лучом постоянной мощности на глубину, соответствующую толщине подготавливаемого слоя, и вывод примесей путем их испарения, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности очистки, одновременно с испарением примесей осуществляют их локализац...