ГАЙДУКОВА ИННА СЕМЕНОВНА

  ФОКУСИРУЩЕ-ОТКПОНЯЮЩАЯ СИСТЕМА УСТРОЙСТВА ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ЛИТОГРАФИИ, содержащая соосно установленные магнитную фокусирукщую линзу с внутренним каналом в виде набора чередующихся магнит.ных и не1 шгнитных колец, лучепровод и размещенную в канале линзы систему отклой:ения электронного пучка, о т л и чающаяся тем, что, с целью упрощения конструкции при уменьшении аберраций,...

  Изобретение относится к электрозондовым устройствам для наблюдения и регистрации изображения, в частности к электронным микроскопам просвечиваемого типа. Цель изобретения - повьшение информативности исследований . Она. достигается путем ускорения цикла фоторегистрации электронного изображения, а также снижения влияния искажений, обусловленных длительным облучением объекта электро...