Вандышев В.И.

 Изобретение относится к способам конверсии тетрафторида кремния в моносилан и фторид водорода. Использование: в микроэлектронной промышленности для получения моносилана, как сырье для производства поликристаллического кремния высокой чистоты. Сущность изобретения: смесь тетрафторида кремния и водорода конвертируют во фторсиланы путем возбуждения неконтрагированного сверхвысокочастотного р...

 Изобретение может быть использовано для переработки обедненного гексафторида урана. Способ заключается во взаимодействии гексафторида урана с водородом во фторводородном пламени. Процесс ведут в реакторе при давлении в нем 540-720 мм рт. ст. Мольное соотношение компонентов UF6:F2:Н2=1:(0,12-0,36): (1,5-3). В качестве восстановителя может быть использован катодный газ. Температуру стенок р...