САТАРОВ ГЕРМАН ХАБИРОВИЧ

  СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНО ОСТРИЙНОГО ИСТОЧНИКА ЭЛЕКТРОНОВ, включающий осаждение на подложку слоя гексаборида лйнтанэ, образо 5 ние острий путём фотолитографии и осаждение диэлектрического слоя на участках, свободных от острий по периметру ПОДЛОЖКИ, ОТЛИЧИ Ют щ И й с я тем, что, с целью упрощения технологии изготовления и повышения равномерности распределения по поверхности тока эми...