Шатохин А.Ю.
Изобретатель Шатохин А.Ю. является автором следующих патентов:
Способ нанесения пленок аморфного кремния и устройство для его осуществления
Изобретение относится к технологии получения пленок аморфного кремния. Предложен способ получения пленок аморфного кремния, основанный на осаждении продуктов разложения силансодержащей газовой смеси на нагретую подложку. Разложение газовой смеси происходит в плазме ВЧЕ-разряда вне камеры осаждения с последующим формированием из продуктов разложения сверхзвуковых струй, истекающих в вакуум...
2188878