PatentDB.ru — поиск по патентным документам

БОЧКАНОВ А.Е.

Изобретатель БОЧКАНОВ А.Е. является автором следующих патентов:

Способ получения негативной маски

Способ получения негативной маски

  1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НЕГАТИВНОЙ МАСКИ, включающий нанесение полимеркой пленки на подложку, ее экспонирование путем облучения потоfcoM частиц, обработку полимерной пленки в среде Мономера и проявление изображения, отлячающ и и с я тем, что, с целью улуч .шения технологических характеристик процесса, обработку полимерной проводят в парах Мономерного винилсилана общей формулы (CN CN)...

1132746