ВЕКСЛЕР АЛЕКСАНДР САМУИЛОВИЧ

  СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖКИ ИЗ СИТАЛЛА; перед вакуумньм напылением тонких пленок путем термообработки , отличающийся тем, что, с целью увеличения сил адгезионной связи пленок с поверхностью ситалла, одну сторону подложки нагревздот до 220-250 С в течение 1015 мин, охлаждая одновременно другую для создания градиента температур 4-5-10 град/м, затем подложку ох- , лаждают на воздухе д...

  Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к изучению кинетр - ки процессов газовыделения материалов при термовакуумной обработке. Целью изобретения является повышение точности измерений и расширение диапазона измеряемых давлений. Устройство содержит камеру для измеряемой среды в виде двух сильфонов, преобразователь давления в электрический сигнал в виде дифференциальног...