ФИЛИППОВ АЛЕКСАНДР СЕРГЕЕВИЧ

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ОПТИЧЕСКОЙ ДЕТАЛИ, содержащее экранирующую маску, расположенную в вакуумной камере между ионным источником и держателем оптической детали , установленным с возможностью вращения и кинематически соединенным с первым вращающим узлом, подсоединенным к первому выходу формирователя управляющих сигналов, второй выход которого подключен к второму вращающему узлу...