КРУГЛОВ ВЛАДИМИР ВЛАДИМИРОВИЧ

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК 4(51) G 01 P 15/12 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3522349/24-10 (22) 15.12.82 (46) 07.02.85. Бюл. ¹ 5 (72) Л. Г.Архарова, В.В.Круглов, E.À.Макаров, Б.И.Пивоненков и N.Â.Ëóêàøèí (53) 531.768(088.8) (56) 1.Авторское свидетельство СССР № 459664, кл.G 01...

  Изобретение относится к области измерения механических величин электрическими методами. Целью изобретения является повьшение точности измерения за счет увеличения чувствительности и расширения диапазона измерений. Интегральный тензопреобразователь содержит упругий элемент, выполненный из кремния, на котором методами планарной технологии сформированы т.ензочувствительные МДП-транз...