КАЗАНЦЕВ ГЕОРГИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

  ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержащий диэлектрическую разрядную камеру с размещенным в ней диэлектрическим экранирующим элементом , индуктор, охватывающий разрядную камеру и ионнооптическую систему , отличающийся тем, что, с целью повышения ресурса источника путем снижения запыпения внутренней поверхности разрядной камеры , экранирующий элемент выполнен в виде вставки с прор...

  1. ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ ИСТОЧНИК ИОНОВ по авт.св. № 723970, отличающийся тем, что, с целью повьппения плотности тока, дополнительный анод выполнен в виде прямонакального нагревателя. 2.Источник ИОНОВ по п.1, отличающийся тем, что дополниг тельный катод снабжен насадком с диафрагмой , установленным на его торце, при этом расстояние от торца распыляемого электрода до диафрагмы насадка б...