КАКУРИН М.В.

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ЕПАЗМЕННОГО НАНЕСЕЬШЯ ПОКРЫТИЙ, содержащее анод, катод-мишень, магнитную систему с полюсными наконечниками, размещенную с нерабочей стороны катодамишени , подложкодержатель и дополнительную магнитную систему с полюсными наконечниками, установленную с нерабочей стороны подложкодержателя напротив одноименных полюсных наконечников магнитной системы, отличающееся...